项目依托平泉市经济开发区4037平方米标准化厂房实施，打造集研发、制造、销售、服务为一体的节能环保智能高端半导体装备产业化基地。主要建设内容为：标准化生产车间2700平方米（包含500平方米标准化加工中心），新产品研发中心300平方米，新技术实验室500平方米，展厅、仓储中心及相关配套设施建设537平方米。

总投资预算

项目计划总投资5000万元。

项目资金来源：企业自筹、贷款、政策支持。

市场分析

高端仪器装备是科学研究的前提，先进的实验条件是在短时间内实现科学技术现代化的必要条件之一。其发展进程一定程度上代表了科学研究的探索方向，据不完全统计，诺贝尔奖自然科学获奖项目中有70%以上奖项的科研成果都依托高端科研仪器实现。习近平总书记在2021年两院院士大会上提出，要在科学试验用仪器设备等方面关键核心技术上全力攻坚。由于我国长期依赖进口，每年需要花费大量经费从国外购买高端仪器设备。高端半导体材料表面清洗装备目前

等离子清洗机

大部分由美国、德国和日本等国家的企业垄断。在当下美国封锁打压背景下，尤其是华为、中兴事件后，可能存在断供风险，将对中国科研事业、半导体产业产生较大影响。2020年12月美国出台的针对中国的《商业管制清单》总共4510条，其中涉及仪器装备管制的占比超过42%，约为2000条。近日，美国《芯片和科学法案》正式签署，未来10年内将不能在中国增产小于28纳米的先进制程芯片。也就是说，美国立法胁迫国际芯片商在中美之间选边站队。在全球疫情和地缘政治双重冲击下，全球芯片产业正在迎来结构调整期，这是中国升级突破的重要机遇。倒逼中国提升半导体制造中的自主性，基于此，也是我们企业发展的机遇。该项目实施后，将打破国外半导体清洗设备的行业垄断，将带动中国尤其是冀北地区高端制造业快速发展，对承德国家可持续发展创新议程示范区的发展具有积极的推动作用。

经济效益

项目建设完成后，将打造成为节能环保智能高端半导体仪器装备研发、制造、销售、服务、产品应用为一体的高科技、多元化集团公司。在微电子、半导体领域，基于等离子体技术，在清洗、去胶、刻蚀、涂层等方面具体应用中，为科研院所、线路板、LED、微流控、光电太阳能等高科技电子领域及大规模工业领域客户提供先进的、高品质的节能环保智能的等离子清洗机、刻蚀机、去胶机、匀胶机、显影机、烤胶机等独

立柜式机台及相对应的全自动化工业半导体机台装备，并提供先进的应用工艺解决方案。

项目建设完成后，未来三年内，预计2023年底，年生产仪器设备600台套以上，实现年销售收入3000万元以上，利税500万元以上。预计到2024年底，年生产仪器装备1000台套以上，年销售收入5000万元以上，利税1000万以上。预计到2025年底，年生产仪器装备1500台套以上，年销售收入8000万元以上，利税1500万以上。

企业现状

赛福仪器承德有限公司系国家科技型中小企业、国家高新技术企业。主要从事微电子、半导体仪器装备的研发、制造、销售、产品应用及服务。公司有8年等离子体应用技术基础，研发生产的科研用等离子清洗设备在国内属领先水平。目前，已形成完善的产品序列，可满足不同客户需求，另外，可根据用户工艺要求量身定制。

公司目前有技术人员18人，其中研发人员7人。公司获得自主核心技术的知识产权专利已授权11项。其中发明专利1项，实用新型专利4项，外观专利6项。已受理未授权专利5项，其中发明专利2项，实用新型3项。