技术详情
项目组在国内首次实现了高重复频率窄线宽准分子激光光源的稳定运转。实现了极窄激光线宽光谱控制及高重复频率条件下的大能量激光输出。在相关高压放电(10kv）等离子体动力特性、高速气动流场特性、高损伤阈值(J/cm2)光学元件膜层镀制、高效散热技术、先进密封技术、深紫外波段(200nm)激光特性综合检测、系统集成装调、故障诊断评估等多个方面取得了重要的技术成果和宝贵的研发经验。
创新点及优势:
项目研发相关技术创新主要包括:
1、氟环境条件下先进密封方式(特种陶瓷材料、金属密封);
2、满足高速气动流场特性的高效风扇设计;
3、系统集成框架高稳定性、高可靠性结构设计。光、机、电、控各功能模块有机分离,减少减震互扰,提高系统使用寿命;
4、系统控制特性优化设计
综合提高系统运行的安全性、可靠性、稳定性和使用寿命。美国 Coherent公司下属 Lambda Physik公司多年来一直从事准分子激光技术相关领域的产品开发工作,相关准分子激光系统产品在生物医疗、工业加工领域占据着重要的市场份额;美国Cymer公司和日本 Gigaphoton公司是世界上仅有的两家从事光刻准分子激光光源产品的供应厂商,市场份额超过95%。北京市准分子激光工程技术研究中心以国家科技重大专项任务为牵引面向准分子激光工程化、产品化发展,突破准分子激光核心关键及基础共性技术。面向市场需求和潜在应用着重开展以准分子激光技术为基础的高端光刻光源产品研发领域、工业加工应用领域以及生物医疗领域开展研究。
案例描述
项目组在国内首次实现了高重复频率窄线宽准分子激光光源的稳定运转。实现了极窄激光线宽光谱控制及高重复频率条件下的大能量激光输出。在相关高压放电(10kv）等离子体动力特性、高速气动流场特性、高损伤阈值(J/cm2)光学元件膜层镀制、高效散热技术、先进密封技术、深紫外波段(200nm)激光特性综合检测、系统集成装调、故障诊断评估等多个方面取得了重要的技术成果和宝贵的研发经验。
