科技成果库
SCIENTIFIC AND TECHNOLOGICAL ACHIEVEMENTS LIBRARY
超高分辨率光棚尺
发布日期：2019-12-20 | 浏览：次
技术详情
光棚尺是和用光栅的光学原理工作的则量反馈装置，其测量输出的信号，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点，所以，研究超高分率的光栅尺具有非常重要的意义。为了提高系统分辨率，需要对莫尔条纹进行细分，传统光栅尺传感器系统多采用电子细分方法，当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。我们设计的超高分辨率光栅尺，它包括平面光源以及垂直于平面光源的照射方向井沿平面光源的照射方向依次排列且彼此平行的定光栅、动光栅和线阵CCD传感器，线阵CCD传感器与动光册并排固定在一起，线阵CCD传感器的感光单元的长度与动光栅的长度相对应，超高分辨率光栅尺的定光栅和动光栅利用游标卡尺的测量原理测量位移，同时利用线阵CCD传感器采集测量信号，大大提高了光珊尺的分辨率，特别适用于对测量精度要求较高的场合。该超高分辨率光栅尺已获得国家发明专利。
本成果属于一个部件，它可以被集成在某套设备中，其成本比通的光栅尺略有增加，但是与实现同样的超高分辨率检测效果的其它常规方法相比，其成本就小多了。
